Reguleerimisplaat vaakumkatmismasinale
Jäta sõnum
Reguleerimisplaat vaakumkatmismasinale
Kile paksuse jaotuse teooria kohaselt saab kile paksuse ühtlust substraatide vahel parandada, lisades aurustuskambrisse reguleerimisplaate, et parandada saagist ja vastata masstootmise nõuetele.
Reguleerimisplaadi projekteerimisel jäetakse materjali aurustumise nurgaviga tähelepanuta ja kile paksus T on seotud ainult aurustumisnurgaga θ. Reguleerimisplaatide lisamisega saab muuta erinevatest aurustumisnurkadest tingitud erinevust kile jaotuses. Reguleerimisplaadi viimistlemist korrigeeritakse ja viimistletakse tegelike tootmisandmetega.
Vaakumkatmismasina tõrkeotsing
Kui vaakumkatmisseade töötab normaalselt, on pealüliti ahela lülititoru küllastunud juhtivusseisundis, toru pingelang hoitakse umbes 100V juures, võrk saab positiivne eelpinge 50 V ja kõrge pinge näitab 6 kV (või 10 kV). Tuvastusahelast R21 saadavast pinge juhtsignaalist ei piisa pingeregulaatori D13 toru purunemiseks ja juhtimiseks, BG14, BG15, BG16 on väljalülitatud olekus, samas kui BG11, BG12, BG13 on sees ja BG11. väljastab 2,5 V või nii kõrge potentsiaali. Paisupinge lülitusahela BG10 saab pinge juhtsignaali 2,5 V ja on juhtivas olekus, nii et BG9 baaspotentsiaal muutub 0 potentsiaaliks ja lülitatakse välja ning pealüliti toru saab läbi 50 V eelpinge. D6 ja D7. Samal ajal on juhtivus olekus ka BG7 ja BG8 ning D8 pingeregulaatori toru läheb katki ja juhib, andes konstantse voolu pealüliti toru väravasse. Kuna BG10 on juhtivas olekus, on kardinavõrgu juhtahela BG4 alus potentsiaalil 0 ja välja lülitatud ning kardinavõrgu pinge suurust juhib kõrgepingejaguri signaal UR2. Kui UR2
www.superbheater.com
