Kõrgtemperatuurilise lõõmutusahju termomeetri temperatuuri kalibreerimise tehnoloogia selgitus
Jäta sõnum
On teatatud, et kõrge temperatuuriga lõõmutusahi kasutab temperatuuri õigeks reguleerimiseks suletud ahelaga juhtimissüsteemi, mis koosneb kiirendatud digitaalsest PLD temperatuuriregulaatorist, termopaarist, püromeetrist ja soojusallikast. Halogeenlampide ühisel juhtimisel erinevates piirkondades saab temperatuuri reguleerimise protsessi käigus kompenseerida iga piirkonna temperatuuride erinevust, hoides substraadi erinevate piirkondade temperatuuri muutumatuna. Tänu õõnsuse põhja paigaldamisele saab püromeeter vastu võtta kiirgust ainult substraadi tagaküljelt ega saa vastu võtta lambi kiirgust. Seetõttu saab püromeetriga substraadi temperatuuri täpselt mõõta. Selle püromeetri temperatuuri kalibreerimise põhimõte on järgmine:
1. Sissejuhatus püromeetrisse:
Käesolevas artiklis tutvustatav püromeeter on soojuskiirguse optiline püromeeter. Kui püromeeter saab mõõdetud objektilt infrapunakiirgust, siis optiline signaal filtreeritakse, muudetakse fotoelektriliseks ja võimendatakse analoogsignaaliks, mis seejärel edastatakse anduri signaaliliidese ahela moodulisse. See moodul teostab signaali A/D teisenduse ja teisendab selle digitaalseks signaaliks, mille arvuti suudab ära tunda. Arvutisse tagasi antud digitaalsignaali nimetatakse järgmises tekstis püromeetri tagasiside väärtuseks.
2. Temperatuuri kalibreerimise tabel:
Vastavalt asjakohastele seadustele on objekti temperatuur seotud selle kiirguse ja spektraalse emissiooniga. Kõrgtemperatuuriliste lõõmutusahjude puhul sõltub püromeetri poolt vastuvõetava kiirguse hulk peamiselt sellistest teguritest nagu substraadi materjal, doping, looduslik oksiidikiht pinnal ja substraadi temperatuur. Sama tüüpi substraadi puhul (st sama materjali, dopingu ja pinna loodusliku oksiidikihiga substraadid) on püromeetrile saadav kiirguse hulk seotud substraadi temperatuuriga. Seetõttu vastab sama tüüpi substraadi puhul püromeetri tagasiside väärtus üks-ühele substraadi temperatuurile. See vastavus moodustab temperatuuri kalibreerimise andmed ja temperatuuri kalibreerimise tabelit kasutatakse mitme substraadi temperatuuri ja püromeetri tagasiside väärtuste vaheliste seoste salvestamiseks. Erinevad temperatuurid vastavad püromeetri erinevatele tagasiside väärtustele. Kõrgtemperatuurse lõõmutusahju arvuti suudab arvutada substraadi tegeliku temperatuuri püromeetrilt saadud signaaliväärtuse tagasiside ja temperatuuri kalibreerimistabeli põhjal.
