PFA (perfluoroalkoksü) kattega titaansoojendi puhul, mida kasutatakse 10% vesinikfluoriidhappe lahuses 60 kraadi juures, kuidas muudab katte paksus (0,3 mm vs . 0.8 mm) difusiooni aega?

PFA-kaetud titaansoojendid 10% vesinikfluoriidhappes temperatuuril 60 kraadi sõltuvad aluspinna kaitsekattest. Kui tekib auk, hajub HF katte alla külgsuunas ja ründab titaani. Nõelaaugu moodustumine annab 500-1000 tundi kaitset 0,3 mm kattega ja 2000-4000 tundi 0,8 mm kattekihiga. Paksemast kattekihist tingitud külgmise difusioonitee pikkuse suurenemine lükkab edasi substraadi perforatsiooni. Aluskatte mehhanism Korrosioon HF-is Auk võimaldab HF-l jõuda titaansubstraadini. Titaan korrodeerub: Ti + 6HF=TiF 6 2- + 3H 2 + 2H +. Korrosiooniprodukt on lahustuv ega sulge auku. HF liigub külgsuunas PFA katte alla, mis on õõnestatud. Vahemaa L vähendamiseks kuluv aeg on võrdeline ajaga L2. Kvantitatiivne läbilõikamisaeg kui katte paksuse funktsioon Katte paksus (mm) Alallõike kiirus (mm/100 h) Aeg kuni 1 mm' Alallõikamiseni (tundi) Aeg substraadi perforatsioonini (tunnid) 0.2 0.5-1.0 100-200 150-300 0.3 0.3-0.6 150-300 500-1,000 0.5 0.1-0.3 300-1,000 1,000-2,500 0.8 0.05-0.15 600-2,000 2,000-4,000 1.0 0.03-0.10 1,000-3,000 3,000-6000 Pinnakatte paksuse valiku juhend HF-i hoolduse minimaalseks tööea pikkuseks. (mm) Soovitatav 500 0.3 Piiratud 1000 Lubatav 0.5 2,000 0.8 Sì 4,000 1.0 Jah Teavitatud spetsifikatsioon Määrake katte paksus 0,8–1,0 mm PFA-ga kaetud titaankuumuti puhul 10% HF-i korral, et katteprobleemid 60 kraadi juures maksimeerida. Insener kontrollib katte paksust, et laiendada ohutu tööakent.