Kuidas mõõta kile paksus vaakum kate masin?

Kuidas mõõta kile paksus vaakum kate masin?

Pärast kasutamine vaakum kate masin katmiseks kile , see võib olla vajalik et mõõta paksus kile kiht. mis meetod kasutatakse et mõõta paksus - kile kiht / 3f

kõige otsene kate kontroll meetod is kvarts kristall mikrotasakaal meetod meetod (QCM). see instrument purk otse ajam aurustamine allikas ja ajam deflektor läbi PID kontroll to säilitamine aurustumine kiirus.

As long as the instrument is ühendatud to the system control software, it can control the whole kate protsess. But the täpsus of (QCM) is limited, in part sest it monitorid the quality of the coating being deposited pigem than its optical paksus.

Optical monitoring is the preferred method of monitoring for high-precision coatings because it allows more precise control of layer thickness (if used properly).

paranemine täpsus tuleneb paljudest teguritest, aga kõige põhiline on seire optiline paksus.

Kui difusioon pump on kasutatud pidevalt veel kui 6 kuud, pumpamine kiirus on ilmselt aeglustunud alla, või töö on ebasobiv. täitmine õhk sisse atmosfäär, eemaldamine ühendamine vesi toru, eemaldamine elektriline pliit, ja keerake lahti esimese taseme otsik. pesemine sapipõis üks kord, siis pesemine see pesemine pesemine pulber segatud veega, ja põhjalikult puhasta see veega veega veega. Pärast the vesi aurustub and dry, install the pump sapipõis, add new diffusion pump õli, and put it back into the body, connect the water pipe, and install the electric furnace. disk, you can reboot. Before restarting, pay attention to leak detection. The method is: start the maintenance pump, close the door, and after a few minutes, observe kas the vacuum degree of the difusioon pump jõuab 6X10 Pa, muidu see on vajalik to teostamine välja leke tuvastamine.

www.superbheater.com