Mitmekaareline ioonplaatimine (MAIP) elektriliste küttetorude vaakumelektroplastimiseks
Jäta sõnum
Mitmekaareline ioonplaatimine (MAIP) elektriliste küttetorude vaakumelektroplastimiseks
Mitmekaareline ioonplaatimine on meetod kaarlahenduse kasutamiseks metalli otse aurustamiseks tahke katoodiga sihtmärgil. Aurustunud materjal on katoodimaterjali ioonid, mis vabanevad katoodikaare eredast täpist, sadestuvad seeläbi õhukese kilemeetodina substraadi pinnale.
Mitmekaareline ioonplaatimine erineb suuresti üldisest ioonplaadistusest. Mitmekaarelise ioonplaadistuse puhul kasutatakse sadestamiseks traditsioonilise ioonplaadistuse hõõglahenduse asemel kaarlahendust. Lihtsamalt öeldes seisneb mitmekaarelise ioonplaadistuse põhimõte kasutada aurustumisallikana katoodi sihtmärki ning sihtmärgi ja anoodikorpuse vahelise kaarelahenduse kaudu aurustub sihtmaterjal, moodustades seeläbi ruumis plasma ja sadestades substraat.
Mitmekaareline ioonplaatimine (MAIP) elektriliste küttetorude vaakumelektroplastimiseks
Mitmekaareline ioonplaatimine on meetod kaarlahenduse kasutamiseks metalli otse aurustamiseks tahke katoodiga sihtmärgil. Aurustunud materjal on katoodimaterjali ioonid, mis vabanevad katoodikaare eredast täpist, sadestuvad seeläbi õhukese kilemeetodina substraadi pinnale.
Mitmekaareline ioonplaatimine erineb suuresti üldisest ioonplaadistusest. Mitmekaarelise ioonplaadistuse puhul kasutatakse sadestamiseks traditsioonilise ioonplaadistuse hõõglahenduse asemel kaarlahendust. Lihtsamalt öeldes seisneb mitmekaarelise ioonplaadistuse põhimõte kasutada aurustumisallikana katoodi sihtmärki ning sihtmärgi ja anoodikorpuse vahelise kaarelahenduse kaudu aurustub sihtmaterjal, moodustades seeläbi ruumis plasma ja sadestades substraat.
Vaakumgalvaanilise elektriküttetoru RF-pihustamistehnoloogia
Raadiosageduslik pihustus on pihustuskatte tehnoloogia tüüp. Vahelduvvoolu pihustussüsteem moodustatakse alalisvoolu toiteallika asendamisel vahelduvvoolu toiteallikaga. Kuna tavaliselt kasutatava vahelduvvoolu toiteallika sagedus on raadiosagedusalas, näiteks 13,56 MHz, nimetatakse seda raadiosageduslikuks sputteringuks.
DC RF-seadmes, kui kasutatakse isoleermaterjalist sihtmärki, kogunevad sihtpinda pommitavad positiivsed ioonid sihtpinnale, muutes selle positiivselt laetuks ja sihtmärgi potentsiaal tõuseb, nii et elektroodide vaheline elektriväli hakkab järk-järgult suurenema. vähendage, kuni hõõglahendus kaob ja pritsimine peatub. Seetõttu ei saa alalisvoolu pihustusseadet kasutada isoleerivate dielektriliste kilede pihustamiseks.
www.superbheater.com
