Vaakumkatmismasina tööprotseduur

Vaakumkatmismasina tööprotseduur

 

① Kontrollige, kas vaakumkatmismasina iga tööjuhtlüliti on "väljas" asendis.

 

② Lülitage peatoitelüliti sisse ja seade on sisse lülitatud.

 

③ Tõmmake madalrõhuklapp välja. Avage täiteklapp, kui õhuvoolu heli pole kuulda, käivitage kelluklapp ja kell tõuseb.

 

④ Paigaldage ja kinnitage volframspiraalkütteseade. Kinnitage PVDF-kile ja alumiiniumkate pöörlevale kettale. Keerake alumiiniumtraat spiraalsesse küttekehasse. Puhastage kõik kellapurgi osad, et selles ei oleks lisandeid.

 

⑤ Laske kellapurk maha.

 

⑥ Käivitage mehaaniline vaakumpump.

Vaakumkatmismasina pihustuskate

 

Pihustuskatteid on mitut tüüpi. Üldiselt erineb aurustuskatetest see, et pihustuskiirusest saab üks peamisi parameetreid.

 

Pommitamiskattes oleva laserpihustuskatte pld puhul on koostise ühtlust lihtne säilitada, kuid paksuse ühtlus aatomi skaalal on suhteliselt halb (kuna see on impulsspohustamine) ja kristallide orientatsiooni (välisserva) kasvu kontroll. on ka suhteliselt üldine.

Vaakumkatmismasina kristalliline ühtlus:

 

1. Võre vaste

 

2. substraadi temperatuur

 

3. Aurustumiskiirus

Vaakumkatmismasina komponentide ühtlus:

 

Aurustuskatte komponentide ühtlust ei ole lihtne tagada ja spetsiifilised tegurid, mida saab reguleerida, on samad, mis ülal, kuid põhimõtte piirangu tõttu ei ole aurustuskatte komponentide ühtlus hea mitteühekomponendilise katte jaoks.

Vaakumkatte paksuse ühtlus sõltub peamiselt:

 

1. Substraadi materjali ja sihtmaterjali vahelise võre sobivuse määr

 

2. Substraadi pinna temperatuur

 

3. Aurustumisvõimsus, kiirus

 

4. Vaakumaste

 

5. Katmise aeg ja paksus.

www.superbheater.com