Vaakumkatmismasina füüsikaline meetod
Jäta sõnum
Vaakumkatmismasina füüsikaline meetod
1. Füüsikalise aur-sadestamise tehnoloogia all mõeldakse meetodit, mille käigus plaadistusmaterjal aurustatakse aatomiteks, molekulideks või ioniseeritakse ioonideks vaakumtingimustes, kasutades erinevaid füüsikalisi meetodeid, ja sadestatakse see vahetult substraadi pinnale.
2. Keemilise aurustamise-sadestamise tehnoloogia on meetod elementaarsete gaaside või kile moodustavaid elemente sisaldavate ühendite varustamiseks aluspinnale ning gaasifaasilise toime või keemilise reaktsiooni abil põhimiku pinnal metalli või ühendi valmistamise meetod. kilede substraadil hõlmab peamiselt atmosfäärirõhul keemilist aurustamist. , madalrõhu keemiline aurustamine-sadestamine ja plasma keemiline aurustamine-sadestamine nii CVD kui ka PVD omadustega.
Kattetehnoloogia arenguga on järk-järgult ilmunud erinevat tüüpi vaakumkatmismasinad. Olenemata sellest, milline vaakumkatmismasin see on, mõjutavad kile ühtlust mõned tegurid. Nüüd kasutame kile ebaühtlase moodustumise tegurite analüüsimiseks magnetilist pihustusvaakumkatet.
Vaakumkatte masina mehhanism on jäik ülekanne
Võrreldes keti ülekandemehhanismiga on mehhanism jäik ülekanne ja ebatäpse sidumise probleem pole. Samal ajal saab tänu väikesele üleminekuruumile kokku hoida klapi lülitusaega vaakumkambrite vahel ja veelgi vähendada erinevate vaakumkambrite vahelist atmosfääri. põimunud. Seetõttu paraneb oluliselt katmisprotsessi stabiilsus ja usaldusväärsus, valmistoodete saagis ning energiakulu ja maksumus.
Vaakumkatmismasina tsementeeritud karbiidiga katmise tavalised meetodid
Tavaliselt kasutatav tsementkarbiidkatmise meetod on kõrgtemperatuuriline keemiline aur-sadestusmeetod (lühidalt HTCVD meetod), milleks on puhas H2, CH4, N2, TiCl4, AlCl3, CO2 ja muude gaaside või aurude sadestamine sadestamissüsteemis normaalrõhul. või alarõhk. , segage vastavalt sademe koostisele vastavat gaasi kindlas vahekorras ühtlaseks ja kandke see omakorda kindlal temperatuuril (tavaliselt 1000 °C ~ 1050 °C) tsementeeritud karbiidilaba pinnale, st ladestada TiC, TiN, Ti(C, N) või Al2O3 või nende komposiitkatteid.
www.superbheater.com
