Vaakumkroomkattes tähtkaare katmise PVD-tehnoloogia

Vaakumkroomkattes tähtkaare katmise PVD-tehnoloogia

Täiustatud magnetronkatoodkaar: katoodkaare tehnoloogia eesmärk on ioniseerida sihtmaterjal vaakumtingimustes madala pinge ja suure voolu kaudu ioonsesse olekusse, viies sellega lõpule õhukese kilematerjalide sadestamise. Täiustatud magnetronkatoodkaar kasutab elektromagnetvälja kombineeritud toimet, et tõhusalt juhtida kaare sihtmaterjali pinnal, nii et materjali ionisatsioonikiirus on suurem ja kile jõudlus parem.

Filtreeriv katoodkaar: Filtreeriv katoodkaar (FCA) on varustatud tõhusa elektromagnetilise filtreerimissüsteemiga, mis suudab filtreerida iooniallika tekitatud plasma makroskoopilisi osakesi ja iooniklastreid. Sadestunud osakeste ionisatsioonikiirus pärast magnetfiltreerimist on 100 protsenti, Lisaks saab suuri osakesi välja filtreerida, nii et valmistatud kile on väga tihe, tasane ja sile, sellel on hea korrosioonikindlus ja tugev sidumisjõud kehaga.

Magnetroni pihustamine: vaakumkeskkonnas pommitatakse sihtmärki pinge ja magnetvälja koosmõjul ioniseeritud inertgaasi ioonidega, mille tulemusena väljutatakse sihtmärk ioonide, aatomite või molekulide kujul ja sadestub substraadile. õhuke film. Sõltuvalt kasutatavast ionisatsioonijõuallikast võib sihtmärkidena pihustada nii juhtivaid kui ka mittejuhtivaid materjale.

Vaakumkroomitud PVD tehnoloogia arendamine

PVD-tehnoloogia ilmus 1970. aastate lõpus ning valmistatud kilede eelisteks on kõrge kõvadus, madal hõõrdetegur, hea kulumiskindlus ja keemiline stabiilsus. Esialgne edukas rakendus kiirterasest lõikeriistade valdkonnas on äratanud suurt tähelepanu töötlevas tööstuses üle kogu maailma. Suure jõudlusega ja suure töökindlusega katmisseadmeid arendades on inimesed ka tsementeeritud karbiidist ja keraamilistest lõiketööriistadest põhjalikumalt katnud. Kihirakenduste uurimine. Võrreldes CVD-protsessiga on PVD-protsessil madalam töötlemistemperatuur ja see ei mõjuta tööriista materjali paindetugevust alla 600 kraadi; kile sisepinge olek on survepinge, mis sobib paremini karbiidist täppis- ja keerukate tööriistade katmiseks; PVD Protsess ei avalda kahjulikku mõju keskkonnale, mis on kooskõlas kaasaegse rohelise tootmise arengusuunaga. Praegu on PVD-katmistehnoloogiat laialdaselt kasutatud karbiidist otsafreeside, puuride, astmepuuride, õliaugupuuride, hõõritsuste, kraanide, indekseeritavate freesimisdetailide, erikujuliste tööriistade, keevitustööriistade jne pinnatöötluses.

PVD-tehnoloogia ei paranda mitte ainult kile ja tööriista alusmaterjali vahelist nakketugevust, vaid ka katte koostis on välja töötatud esimese põlvkonna TiN-st kuni TiC, TiCN, ZrN, CrN, MoS2, TiAlN, TiAlCN, TiN-AlN, CNx, DLC ja ta-C ning muud mitmekomponendilised komposiitkatted.

www.superbheater.com