Ühendkilede sadestamiseks kasutatakse laialdaselt elektriliste küttetorude vaakumkattega reaktiivset pihustust
Jäta sõnum
Ühendkilede sadestamiseks kasutatakse laialdaselt elektriliste küttetorude vaakumkattega reaktiivset pihustust
Kaasaegse pinnatehnika areng nõuab üha enam erinevate liitkilede kasutamist ning reaktiivmagnetroni pihustustehnoloogia on üks peamisi viise liitkilede ladestamiseks. Mitme komponendiga liitkilede sadestamiseks võib pihustussadestamiseks kasutada liitmaterjalidest valmistatud sihtmaterjali või puhta metalli või sulami sihtmärkide pihustamisel sisestada teatud reaktiivset gaasi, näiteks hapnikku ja lämmastikku, et reageerida ja sadestada ühend. filmid. Seda nimetatakse reaktiivseks pihustamiseks. Tavaliselt on puhtast metallist sihtmärke ja reaktiivseid gaase lihtne kõrge puhtusega saada, seetõttu kasutatakse liitkilede sadestamiseks laialdaselt reaktiivset pihustust.
Vaakumgalvaanilise elektriküttetoru ioonkatte eelised
eelis
kõrge sadestumise kiirus
tihe kile
Hea difraktsioonivõime, tugev võime katta keerukaid pindu
Elektriküttetorude vaakumgalvaanilise katmise reaktiivpihustamise eelised ja puudused
(1) Reaktsioon Magnetronpihustuses kasutatav sihtmaterjal (üheelemendiline sihtmärk või mitmeelemendiline sihtmärk) ja reaktiivne gaas (hapnik, lämmastik, süsivesinik jne) on kõrge puhtusastmega, mis soodustab kõrge puhtusastmega aine valmistamist. liitkiled.
(2) Reaktiivse magnetroni pihustamise protsessi parameetrite reguleerimisega saab valmistada stöhhiomeetrilisi või mittestöhhiomeetrilisi liitkilesid ning kile omadusi saab reguleerida kile koostise reguleerimisega.
(3) Reaktiivse magnetroni pihustussadestamise protsessi ajal on substraadi temperatuur suhteliselt madal ja tavaliselt ei pea kile moodustamise protsessis substraati kuumutama kõrgel temperatuuril, seega on substraadi materjalile vähem piiranguid.
(4) Reaktiivne magnetroni pihustamine sobib suure pindalaga ühtlaste õhukeste kilede valmistamiseks ja võimaldab tööstuslikult toota ühe masinaga miljoneid ruutmeetrit kattekihti.
puudujääk
Kalduvus mürgistusele, anoodi kadumisele ja muudele probleemidele
www.superbheater.com
