Vaakumgalvaanilise elektriküttetoru RF-pihustamine
Jäta sõnum
Vaakumgalvaanilise elektriküttetoru RF-pihustamine
Alalisvoolutoiteallika asemel kasutatakse RF-toiteallikat ning sihtmärgi ja põhimiku vahele rakendatakse kõrgsageduslikku pinget. Pommitamise ajal tekitab sihtmärk isekallutamise efekti (st sihtmärk on automaatselt negatiivse potentsiaali olekusse), nii et isoleeriva sihtmärgi pihustamist saab säilitada. . Tavaliselt kasutatav sagedus on umbes 13,56 MHz.
Vaakumgalvaanilise elektrilise küttetoru dioodpihustamise eelised ja puudused
eelis
Lihtne struktuur
puudujääk
Pihustada saab ainult hea elektrijuhtivusega metallmaterjale
Pihustamise efektiivsus on madal
Vaakumgalvaanilise elektriküttetoru dioodpihustamine
Sihtmärgi ja substraadi vahele lisatakse alalisvoolu kõrgepinge, plaatide vaheline gaas (üldiselt Ar2) ioniseeritakse ja kiire laenguga ioonid pommitavad sihtmärgi pinda pihustuskatte tehnoloogiaga. Iseseisva tühjenemise säilitamiseks on tühjendusgaasi rõhk tavapärasel pihustuskaugusel, kus kahe polaarplaadi vaheline kaugus on mitu sentimeetrit, tavaliselt kuni 10 Pa, mis kahjustab pihustustõhusust ja kile kvaliteeti. Seetõttu kasutatakse alalisvoolu pommitamisel sageli mitteiseseisvat tühjendust, st kvadrupoolilist pihustust koos termioonsete emitterite ja abianoodide lisamisega, nii et pihustust saab teostada madalal rõhul 10-1 kuni { {7}} Pa.
Vaakumgalvaanilise elektrilise küttetoru induktsioonkuumutuse aurustamise eelised ja puudused
eelis
Aurustumiskiirus on suur, mis võib olla umbes 10 korda suurem kui takistusliku aurustumisallika oma
Aurustumisallika temperatuur on stabiilne ja pritsmeid pole lihtne tekitada
Tiigli temperatuur on madalam ja tiigli materjalil on membraan vähem saastunud
puudujääk
Aurusti peab olema varjestatud
Kõrge hind ja keerukas varustus
www.superbheater.com
