Vaakumhõbeda pihustamise teel valmistatud TiCN õhukeste kilede struktuur ja omadused
Jäta sõnum
Vaakumhõbeda pihustamise teel valmistatud TiCN õhukeste kilede struktuur ja omadused
TiCN õhukesed kiled valmistati M2 kiirterasest aluspindadele, pihustades koos grafiidist ja titaanist sihtmärke lämmastiku ja argooni segaatmosfääris. Tuvastati TiCN õhukese kile kõvadus ning õhukese kile ja substraadi sidumisoleku hindamiseks kasutati taandemeetodit ja kriimustusmeetodit. TiCN õhukese kilega kraani lõikekatse viidi läbi, et uurida TiCN õhukese kile vastupidavust. Tulemused näitavad, et TiCN-kile C-aatomid esinevad TiN-võres tahke lahuse kujul, TiCN-kile orientatsioon (111)-kristalltasandil on oluliselt nõrgem kui TiN-kile ja TiCN-kile on pikk plokkkonstruktsioon ja selle külgmine mõõde on suurem kui TiN-kile. Kile on väike ja TiCN-kile pind on ebaühtlane. TiCN-kile ja substraadi vaheline sidumisjõud on umbes 40N. TiCN-kile C-aatomid tugevdavad tahket lahust ja tugevdavad tera rafineerimist. TiCN-kile kõvadust suurendatakse 20,3-lt 33,4 GPa-le TiN-kile. TiCN-kilel on head hõõrdumist takistavad omadused ning TiCN-kile kraanide kasutusiga 40Cr materjali keerates on oluliselt pikem kui TiN-kile kraanidel ja katmata kraanidel.
Vaakumhõbedamise lekke tuvastamise etapid
1. Kontrollige jooniseid. Mõistma kontrollitavate seadmete osade ja kogu seadme ehitust ja materjalivarustust, seadme töötlemisastet ja tehnoloogiat ning kogu masina kokkupanemise protsessi, kohta, kus leket on vaja kontrollida, kasutaja kasutust jaotuslekke ja kogulekke standard. , Kas on surnud ruumi, kas on lekkeohtlikke materjale, kas kasutatakse lekkeohtlikku tootmisprotsessi jne.
2. Vastavalt maksimaalsele lubatud lekkekiiruse standardile ja erinevatele nõuetele, kas on vaja leida konkreetne lekkekoht, kombineerituna ökonoomsuse, kiiruse ja töökindluse põhimõtetega, valige lekke tuvastamise seade, meetod ja vajalikud abiseadmed. ja töötage välja vaakumi lekke tuvastamise programm.
3. Puhastage vaakumseadmete kontrollitavad osad. Eemaldage keevitusräbu ja rasv, seejärel puhastage. Pärast puhastamist tuleks vaakumseadmete kontrollitavad osad kuivatada. Kõrgete nõuetega väikeste osade puhul tuleks need puhastada ja seejärel küpsetada.
4. Kalibreerige lekketuvastusmeetodi ja vaakumkatte seadmetes kasutatava lekketuvastusseadme lekke tuvastamise tundlikkus ning määrake lekketuvastusseadme reaktsiooniaeg.
5. Vaakumlekke tuvastamise meetodi puhul on lekketuvastusseadme lekke tuvastamise tundlikkuse parandamiseks vaja pumbata testitavad seadmete osad kõrgemale vaakumiastmele ning vajadusel küpsetamist ja degaseerimist saab läbi viia. tegelema.
6. Heeliumi massispektromeetrilises lekketuvastusmeetodis kasutatavate seadmete ja heeliumgaasi kõrge hinna tõttu tuleks võimalikult palju kasutada teisi säästlikumaid lekketuvastusmeetodeid või -seadmeid.
7. Juhul, kui ioonkattemasin kasutab lekke tuvastamiseks heeliumi massispektromeetri lekkedetektorit, võib varajases staadiumis kasutada mõningaid kontrollitavaid osi, mis ei nõua suurt lekke tuvastamise tundlikkust või mille seadmetes on suured lekkeaugud. lekke tuvastamine. Esialgne lekketuvastus heeliumiga, et säästa heeliumi kasutamist.
8. Pärast avastatud suurte lünkade parandamist kontrollige seadmetes olevaid väikseid lünki.
9. Kõik vaakum-ioonkatmisseadmetega tuvastatud lekked tuleb uuesti üle kontrollida.
www.superbheater.com
