Käru ahju koormuse testimine ja funktsionaalne kontrollimine

Pooljuhtide tootmise täpsuses on ahjud olulised seadmed ning nende jõudlus mõjutab otseselt kiibi kvaliteeti ja tootmise tõhusust. Pooljuhtide ahjude tagamiseks on alati optimaalses töötingimuses, kaaluge hoolikalt järgmisi põhjalikke igapäevaseid hooldusjuhiseid.

1. Sügav puhastamine saastumisriskide vältimiseks

Sisemine puhastamine: Pärast iga kasutamist oodake, kuni ahi jahtub ja seejärel pühkige interjöör tolmu - vaba lapi ja spetsiaalse puhastusvahendiga. Pooljuhtide tootmine nõuab äärmiselt kõrgeid puhtuse standardeid, nii et puhastamisel pöörake erilist tähelepanu nurkadele ja lõhedele, et vältida osakeste akumuleerimist ja saastumist laastud. Kangekaelsete plekkide jaoks vältige karmi puhastamist ja kasutage selle asemel korduvaks pühkimiseks kerge puhastusvahendit. Loputage deioniseeritud veega ja kuivatage pärast puhastamist põhjalikult.

Väline puhastamine: pühkige ahi regulaarselt tolmu ja plekkide eemaldamiseks ahi puhta, niiske lapiga. Vältige söövitavate puhastusvahendite kasutamist, et vältida välimise katte kahjustamist ja seada seadme esteetika ja kaitseomadusi kahjustada. Kontrollige ka seadmete ümbrust, et veenduda, et tolmu kogunemist ei oleks ja säilitaks hea ventilatsiooni.

2. võtmekomponentide üksikasjalik ülevaatus ja hooldamine

Küttesüsteem: kontrollige kütteelementi iganädalaselt oksüdeerumise ja kahjustuste nähtude osas. Kui märkate küttetoru pinnal mustaid laike või pragusid, vahetage see viivitamatult, et vältida ebaühtlast kuumutamist, mis võib mõjutada kiibide kuivatamist. Lisaks kontrollige küttesüsteemi klemmidel lahtisi ühendusi, et tagada stabiilsed elektriühendused ja vältida kehva kontakti põhjustatud rikkeid või ohutusohte.

Ventilaatori ja õhukanal: kontrollige regulaarselt ventilaatori operatsiooni, kuulake ebaharilikke müra ja kontrollige ventilaatori labasid deformatsiooni või tolmu kogunemise osas. Tolmu akumuleerumine võib mõjutada kuuma õhu ringluse tõhusust ja põhjustada kambris ebaühtlast temperatuuri. Puhastage teraga ja ventilaatori sisemus suruõhuga ettevaatlikult. Kontrollige ka õhukanali takistusteta voolu ja eemaldage praht, et tagada kuuma õhu ühtlane ja tõhus ringlus kambris.

Tihendusribad: pooljuhi ahjud vajavad ranget tihendamist. Kontrollige iga päev ukse tihendamise ribasid vananemise, deformatsiooni või kahjustuste osas. Praod või elastsuse kaotus võivad põhjustada kambris ebastabiilset temperatuuri ja niiskust ning võivad isegi saada saasteaineid. Asendage ribad kohe, et tagada hea pitser.

Iii. Täpne kalibreerimine stabiilsete parameetrite tagamiseks

Temperatuuri ja õhuniiskuse kalibreerimine: ahju sisetemperatuuri ja niiskuse kalibreerimiseks kuus kasutage kõrge - täpsuse ja niiskuse andurit. Pooljuhtide tootmine nõuab äärmiselt kõrget temperatuuri ja niiskuse täpsust ning isegi vähim kõrvalekalle võib mõjutada kiibi jõudlust. Kalibreerimise ajal, kui kuvatud temperatuuri ja niiskuse väärtused erinevad tegelikest väärtustest, mis ületavad lubatud vahemikku, tuleb ahju temperatuuri ja niiskuse juhtimise parameetreid kiiresti reguleerida ning kalibreerimisandmed tuleb järgnevaks analüüsimiseks ja jälitamiseks registreerida.

Juhtimissüsteemi kontrollimine: kontrollige korralikult ahju juhtimissüsteemi, sealhulgas selliseid komponente nagu temperatuurikontroller ja taimer. Testige iga juhtnupu tundlikkust ja täpsust, et veenduda, et operaator saaks täpselt seada ja jälgida ahju tööparameetreid. Kui tuvastatakse kõrvalekaldeid, pöörduge kohe remondi ja silumise saamiseks viivitamatult kutseliste tehnikutega.

IV. Standardiseeritud dekomisjoneerimine ja taaskäivitage hooldus

Pikk - terminite dekomisjoneerimine: kui pooljuhtide ahi tuleb pikema aja jooksul dekomisjoneerida, puhastage ja kuivatage sisemus põhjalikult ja kuivatage ning ühendage toiteallikas. Tolmu ja niiskuse sisenemise vältimiseks katke ahi tihedalt tolmukattega. Perioodiliselt (iganädalane on soovitatav) lülitage see sisse 1 - 2 tundi, et säilitada sisemiste elektriliste komponentide stabiilne jõudlus ja vältida pikaajalise tegevusetuse tõttu riketeid.

Taotlus: enne pikema aja jooksul demonteeritud ahi soovitust kontrollige kõiki komponente põhjalikult. See hõlmab uuesti interjööri puhastamist, elektriühenduste kontrollimist, küttesüsteemi testimist ja ventilaatori tööt jne. Käivitage seadet koormuseta, et jälgida, kas temperatuur ja niiskuse kontroll on normaalsed. Ainult pärast kinnitamist, et seda ei saa kasutada, saab seda kasutada.