Kasutage vaakumkatmismasina samme
Jäta sõnum
Kasutage vaakumkatmismasina samme
1. Lülitage sisse veepump ja õhuallikas.
2. Lülitage põhitoide sisse.
3. Lülitage sisse hoolduspumba ja vaakummõõturi toide ning vaakummõõturi asend on V1, oodake, kuni väärtus on väiksem kui 10, ja jätkake järgmise sammuga. See võtab umbes 5 minutit.
4. Lülitage sisse mehaaniline pump, eelpump, lülitage sisse turbomolekulaarpumba toide ja käivitage see. Lülitage vaakummõõturi lüliti asendisse V2 ja kulub umbes 20 minutit, kuni pump on alla 2.
5. Kui turbomolekulaarpumba näit jõuab 250-ni, lülitage eelpumpamine välja, avage esipump ja kõrgvaakumklapp ning jätkake evakueerimist. Kui evakueerimine jõuab teatud tasemeni, saab avada parempoolse kõrgvaakummõõturi, et vaakumi astet jälgida. Elektronpüstolit ei saa sisse lülitada enne, kui vaakum saavutab 2 × 10-3.
Seda, mida tuleb katta, nimetatakse substraadiks ja kaetavat materjali nimetatakse sihtmärgiks. Substraat ja sihtmärk on samas vaakumkambris.
Aurustuskate soojendab tavaliselt sihtmärki, nii et pinnakomponendid aurustuvad radikaalide või ioonide kujul. Ja see ladestub substraadi pinnale, et moodustada õhuke kile kilet moodustava protsessi käigus (hajutatud saarelaadne struktuur-vagaalne struktuur-kihiline kasv). Pihustava katmise puhul võib seda lihtsalt mõista kui sihtmärgi pommitamist elektronide või suure energiaga laseritega ja pinnakomponentide pihustamist aatomrühmade või ioonide kujul ning lõpuks sadestamist substraadi pinnale, läbides kilet. vormimisprotsess ja lõpuks õhukese kile moodustamine.
www.superbheater.com
