Vaakumkatmismasin õõneskatoodi tehnoloogia

Vaakumkatmismasin õõneskatoodi tehnoloogia

Ioonkatte seadmed said alguse DM Mattoxi poolt 1960. aastatel välja pakutud teooriast ja vastavad katsed algasid sel ajal; kuni 1971. aastani Chamber jt. avaldatud elektronkiire ioonkatte tehnoloogia; ja reaktiivse aurustamise (ARE) tehnoloogia oli 1972. aastal. Bunshahi 2009. aasta aruanne tõi välja, et sel ajal toodeti ülikõva kiletüüpe, nagu TiC ja TiN; ka 1972. aastal kasutasid Smith ja Moley katmisprotsessis õõneskatooditehnoloogiat. 1980. aastatel jõudis minu kodumaa ioonplaatimine lõpuks tööstusliku kasutuse tasemele ja üksteise järel ilmusid katmisprotsessid, nagu vaakum-mitmekaareline ioonplaatimine ja kaarlahendusega ioonplaatimine.

Vaakumkatmismasin jaguneb kahte tüüpi: aurustamine ja pihustamine

Ioonkatmismasin viitab peamiselt katmise tüübile, mida tuleb teostada kõrgvaakumis, sealhulgas mitut tüüpi, sealhulgas vaakum-aurustuskatmismasin, vaakum-mitmekaareline ioonkatmismasin, vaakum-kesksagedusega magnetroni pihustuskatmismasin, multifunktsionaalne vahekiht sagedusega magnetron Pihustav mitme kaarega komposiit-ioonkattemasin, vaakum-optiline (elektronkiirega aurustamine) katmismasin ja muud vaakumkatmisseadmete seeriad, mille põhiidee on jagatud kahte tüüpi aurustamiseks ja pihustamiseks.

Vaakumkatmismasina ebaühtlane pumpamine mõjutab katte ühtlust

Katmismasina ebaühtlane pumpamine mõjutab katte ühtlust. Oluline on, et aluspind oleks puhas. Enne vaakumkatmist tuleb aluspinna pind hoolikalt puhastada, et saavutada töödeldava detaili rasvaärastus, saastest puhastamine ja veetustamine. Aluspinna pinna saastumist põhjustavad töötlemisel ja transportimisel detailidele kinnitunud mitmesugune tolm, rasv, poleerimispasta, higi jne. Niiskes keskkonnas oksüdeerub substraadi pind kergesti, moodustades gaasi neelamiseks oksiidkile. Neid plekke saab puhastada rasvaärastus- või keemiliste meetoditega. Puhtaid aluspindu ei tohi asetada otse õue, vaid hoida saastumise vähendamiseks suletud anumas. Katmiskambrisse koguneb tolm, seega puhastage katmiskamber, küpsetage ja degaseerige ning asetage masin puhtasse keskkonda. Pöörake tähelepanu difusioonipumba õli tagasivoolule. Pinnatamiseks on palju tooraineid, nagu vaik, silikoon, ränihape, polümeer jne. Abimaterjalide ja valemite vahekord on erinev, erinev on ka kile.

www.superbheater.com