Vaakumkatmismasin vaakumkatmismasin ebaühtlane kile moodustumine
Jäta sõnum
Vaakumkatmismasin vaakumkatmismasin ebaühtlane kile moodustumine
Kattetehnoloogia arenguga on järk-järgult ilmunud erinevat tüüpi vaakumkatmismasinad. Olenemata sellest, milline vaakumkatmismasin see on, mõjutavad kile ühtlust mõned tegurid. Nüüd kasutame kile ebaühtlase moodustumise tegurite analüüsimiseks magnetilist pihustusvaakumkatet.
Vaakumkatte masina mehhanism on jäik ülekanne
Võrreldes keti ülekandemehhanismiga on mehhanism jäik ülekanne ja ebatäpse sidumise probleem pole. Samal ajal saab tänu väikesele üleminekuruumile kokku hoida klapi lülitusaega vaakumkambrite vahel ja veelgi vähendada erinevate vaakumkambrite vahelist atmosfääri. põimunud. Seetõttu paraneb oluliselt katmisprotsessi stabiilsus ja usaldusväärsus, valmistoodete saagis ning energiakulu ja maksumus.
Vaakumkatmismasina ketttunneli ülekandemehhanismi defektid
Ketttunneli ülekandemehhanismi puuduseks on see, et 1. Vaakumkambrite vahelised ühendusventiilid peavad olema suuremate mõõtmetega, et erinevate vaakumkambrite vahelised atmosfäärid oleksid omavahel hõlpsasti ühendatud, vähendades seeläbi katte kvaliteeti ja saagist jne. .; 2. Kõrgema vajadus Paindliku struktuuri tõttu on see kalduvus ebatäpsele sobitamisele, mille tulemuseks on ülekande rike. Vaakumkatmismasina edasi-tagasi liikuva hammaslati ja tõukurvarda konveieri ülekandeprotsess seisneb selles, et see on kinnitatud katmiskambri ülaosale või šassiile (samal küljel kui pöörlev plaat) ja võib edasi-tagasi liigutada hammasratast G ja hammaslatt H. -tõukurvarda mehhanism , pöörleva tooriku varda Am ülekandmine vaakumkambri M pöörlevalt kettalt Jm vaakumkambri N pöörlevale kettale Jn toimub järjestikku. Hammasrataste ja hammaslattide kasutatav võimsus saavutatakse mootoritega, mille võllid on väljaspool vaakumkambrit tihendatud. Selleks, et isepöörlev tooriku varras eralduks orbitaalkettast ja siseneks järgmisele orbitaalkettale, luuakse orbitaalketta ja pöörleva võlli vahel avatud ühendus. Kamber M viiakse üle järgmisse kattekambrisse N.
www.superbheater.com
