Vaakumhõbedamise magnetroni pihustuskatte pealekandmisväli
Jäta sõnum
Vaakumhõbedamise magnetroni pihustuskatte pealekandmisväli
Peamised kasutusvaldkonnad on: pooljuhtkile, dielektriline kile, ekraanikile, optiline kile, dekoratiivkile.
Kasutatavad materjalid on: metallist sihtmärk, sulamist sihtmärk, magnetsihtmärk, oksiidsihtmärk.
Vaakumhõbedamise magnetroni pihustuskatte seadmed
(1) Sihtmaterjalil peaks pärast kile moodustumist olema hea mehaaniline tugevus ja keemiline stabiilsus;
(2) Sihtmärgi ja aluspinna kombinatsioon peab olema kindel, vastasel juhul tuleks kasutada aluspinnaga hea nakkuvusega kilet ja kõigepealt pihustada põhjakile ja seejärel valmistada ette vajalik kile;
(3) Reaktiivse pihustamise kilematerjalina peab reaktiivgaasiga olema lihtne moodustada liitkilet;
(4) Kile jõudlusnõuete täitmise eeldusel on, et mida väiksem on sihtmärgi ja põhimiku soojuspaisumistegurite erinevus, seda parem, et vähendada pihustuskile termilise pinge mõju;
(5) Vastavalt kile otstarbele ja jõudlusnõuetele peab valitud sihtmärk vastama puhtuse, lisandite sisalduse, komponentide ühtluse ja töötluse täpsuse tehnilistele nõuetele.
Klassifikatsioon sihtmärgi kasutusvaldkonna, materjali ja sihtmärgi kuju järgi
Kilede vaakumhõbedamine spetsiaalsete morfoloogiliste materjalidega
Kõrg- ja uue tehnoloogia kiire arenguga on spetsiaalsete morfoloogiliste materjalidega õhukesed kiled, mida nõuavad uue tehnoloogia revolutsiooni kolm sammast, valgusjuht, energeetika, materjali- ja infoteadus, muutunud toodete sarjaks nagu optika, mikroelektroonika, andurid. , ja infoenergia kasutamine. Tehnoloogiad, sealhulgas pihustusplaatimine, ioonvärvimine, keemiline aur-sadestamine, molekulaarkiirega epitakseerimine, ioonkiirega sadestamine ning kile paksuse, samuti kilede struktuuri, morfoloogia, koostise ja omaduste mõõtmine ja jälgimine on järgmised. nimetatakse uueks ainevaldkonnaks "filmiteadus ja -tehnoloogia". Praegu on õhukeste kilede ettevalmistamise ja õhukeste kilematerjalide väljatöötamisega minu riigis juba laiaulatuslik õhukese kiletööstus ning vaakumkatmise arenguväljavaated on väga laiad.
www.superbheater.com
