Vaakumhõbedamise ja magnetronkatmismasinate ühised omadused
Jäta sõnum
Vaakumhõbedamise ja magnetronkatmismasinate ühised omadused
Magnetronkatmismasina magnetroni pihustamisel on erinevad tööpõhimõtted ja kasutusobjektid. Kuid neil kõigil on üks ühine joon: magnet- ja elektriväljade vastastikmõju põhjustab elektronide spiraali ümber sihtpinna, suurendades võimalust, et elektronid tabavad argooni ja toodavad ioone. Tekkinud ioonid põrkuvad elektrivälja toimel sihtmärgi pinnaga, pihustades seeläbi sihtmärki.
Magnetronkatmismasina sihtallika võib jagada tasakaalustatud tüübiks ja tasakaalustamata tüübiks. Tasakaalustatud sihtallika kate on ühtlane ja tasakaalustamata sihtallika kattekihil on tugev nakkumine aluspinnaga. Tasakaalustatud sihtallikaid kasutatakse enamasti pooljuhtoptiliste kilede jaoks ja tasakaalustamata sihtmärkallikaid kasutatakse enamasti dekoratiivkilede kandmiseks. Magnetronkatoodid saab jämedalt jagada tasakaalustatud ja tasakaalustamata magnetronkatoodideks vastavalt erinevatele magnetvälja konfiguratsioonidele. Magnetterase magnetvoog tasakaalustatud magnetroni katoodi sees ja väljaspool on ligikaudu võrdne ja kahepooluselised magnetvälja jooned on sihtpinnal suletud, mis võib piirata elektrone / plasmat sihtpinna lähedal, suurendades tõenäosust. kokkupõrke vältimiseks ja ionisatsiooni efektiivsuse parandamiseks.
Vaakumhõbedamine Iga süsteem võib täita erinevaid funktsioone
Täielik magnetroni pihustusvaakumkattemasin koosneb mitmest osast, iga süsteem suudab täita erinevaid funktsioone ja lõpuks saavutada lõpliku kvaliteetse katte. Magnetroni pihustuskatte seadmed koosnevad vaakumkambritest, ventiilidest ja vaakumi kogumissüsteemidest. , vaakummõõtesüsteem, katoodsihtmärk, elektriline juhtimissüsteem ja muud komponendid.
Magnetroni pihustuskatja põhiosa on vaakumkamber ja vaakumkambri suuruse määrab toote substraadi suurus ja kasutaja võimsus. Süvend on valmistatud roostevabast terasest SUS304, eeliseks on see, et see ei roosteta, on süsinikterasest vastupidavam ja kergesti hooldatav. Magnetronpihustusmeetodil on palju erinevaid katmismeetodeid, tavaliselt kasutatav mitmekaareline ioonkatmine, vahesageduse reguleerimise katmine jne. Magnetronpihustusmeetodil moodustatud kattekihil on tugev adhesioon, kile kõrge puhtusaste ja seda saab samal ajal pihustada. aega. koostisosa materjal.
www.superbheater.com
