Optimaalsed tingimused mitme ühendkatte valmistamiseks elektriküttetorude vaakumelektroplastimiseks reaktiivse aurustamise teel
Jäta sõnum
Optimaalsed tingimused mitme ühendkatte valmistamiseks elektriküttetorude vaakumelektroplastimiseks reaktiivse aurustamise teel
Nagu on näidatud alloleval joonisel, ulatub Ca ja As aururõhkude erinevus nelja suurusjärguni. III-V pooljuhtühendkiled on tavaliselt üksikute kristallide kujul. Aga üldiselt võib öelda, et ühekristallilise õhukese kile valmistamisel on alusmaterjal samuti monokristall ja substraadi temperatuuri tuleb hoida mitmesaja kraadi Celsiuse järgi. Seetõttu on V rühma elementide aururõhk palju kõrgem kui III rühmal ja isegi kui V rühma elemendid eksisteerivad üksi, ei kondenseeru need aluspinnale. Kui aga III rühma elemendid on olemas ja sobival temperatuuril ja rõhul, on V rühma elementide aururõhk tasakaalus III-V rühma ühendite tahkete ainetega ja eksisteerib koos. Hea ühekristallilise õhukese kile valmistamiseks peaks substraadi temperatuur olema rangelt piiratud. Seetõttu erineb see sulamite valmistamise juhtumist. Liitpooljuhtide, eriti III-V ühendite monokristallkatete valmistamisel on vaja kontrollida substraadi temperatuuri ja kahe aurustusallika temperatuuri, kokku kolme temperatuuri. Siit pärineb nn kolme temperatuuri meetodi nimi. Tegelikult aurustab see III rühma elemente V rühma elementide atmosfääris. Selles mõttes sarnaneb see ka reaktiivse aurustamise meetodiga.
Vaakumgalvaaniline elektriküttetoru puhas metallmaterjal alumiinium
Alumiiniumkilesid saab kasutada juhtide, kondensaatorielektroodide, reflektorite ja dekoratiivrakendustena.
Alumiinium sulab 660 kraadi juures ja hakkab 1100 kraadi juures kiiresti aurustuma. Aurustumisel on alumiinium suure kiirusega gaas, mis tungib tulekindla materjali pooridesse. Alumiinium võib kõrgel temperatuuril reageerida keemiliselt keraamiliste materjalidega ja moodustada tulekindlate metallidega madala sulamistemperatuuriga sulameid.
On tõestatud, et aurustamisel kas alumiinium reageerib keemiliselt tiigli materjaliga või tiigli materjal aurustub. Sula alumiiniumi keemiline reaktsioonivõime vaakumis on veelgi suurem kõrgema rõhu korral. Seetõttu tuleb alumiiniumi aurustamiseks aurustusallikas hoolikalt valida. Praegu kasutatakse enamasti volframtraadist või tantaaltraadist kütte aurustusallikat. Suure koguse alumiiniumi aurustamisel võib kasutada pidevat traadi etteande või induktsioonkuumutusega aurustusallikaid.
Vaakumgalvaaniline elektriküttetoru puhas metallmaterjal
Puhaste metallmaterjalide puhul, kuna selle aurustumine (sublimatsioon) on ühekordne, on aluspinnale sadestunud kilematerjal täpselt sama, mis aurustumisallikast eralduv kilematerjal. Niikaua kui välditakse salve segunemist kuumutamise ja aurustamise käigus, on võimalik saada ühekomponendiline puhas metallkilekiht. Seetõttu saab selle aurustumiskiiruse ja üksiku metalli küllastunud aururõhu vahelise seose saada, kasutades selle küllastunud aururõhu p leidmiseks järgmist valemit:
www.superbheater.com
