Vaakumgalvaanilise elektriküttetoru kolmetemperatuuriline aurustusmeetod
Jäta sõnum
Vaakumgalvaanilise elektriküttetoru kolmetemperatuuriline aurustusmeetod
Põhimõtteliselt on kolmetemperatuuriline meetod kahekordse aurustamise allika aurustamise meetod. Kuid III kuni V rühma ühendite omadused erinevad sulamite omadustest ja neid kasutatakse ka monokristallkatete valmistamiseks. Seetõttu erineb see tehniliselt kahe aurustusallikaga aurustamise meetodist. Üldiselt ei ole kahe sulami moodustava metalli aururõhk väga erinev. Näiteks 1000 K juures on Co, Fe, Ni aururõhk umbes 10^-10Pa, Cr on 10^-9Pa, Pd on 10^-8Pa, Al , Be, Cu, Sn on 10^-6Pa, Ag on 10 ^-4Pa.
Vastupidi, III-V rühma ühendites on V rühma elemendi aururõhk palju kõrgem kui III rühma elemendil, kuna III rühma elemendi madala temperatuuri aururõhu väärtust ei saa mõõta. Seetõttu hinnatakse seda kõrgel temperatuuril aururõhu väärtuse järgi.
Vaakumgalvaanilise elektrilise küttetoru katmisseade
kütteseade; 2-substraat; 3-kütteseade; 4-õhu sisselaskeava; 5-hapnikuballoon; 6-reguleeritav lekkeklapp; 7-sulgemisklapp; 8-SiO2; 9-NA2O
Enamik reaktiivaurustusmeetodil kasutatavate vaakumseadmete pumpamissüsteemidest kasutavad õli difusioonpumpasid. Saadud katte koostise ja kristallstruktuuri tõttu muutub see atmosfäärigaasi rõhu, aurustumisallikast pärinevate molekulide aurustumiskiiruse ja substraadi temperatuuriga. Seetõttu tuleb võtta meetmeid nende koguste reguleerimiseks.
Vaakumgalvaanilise elektrilise kuumutustoru reaktsiooni aurustamise meetod
Meetodit aktiivgaasi sisestamiseks vaakumkattekambrisse aktiivse gaasi aatomite (molekulide) ja aurustusallikast aurustunud aatomite vahelise keemilise reaktsiooni kaudu ühendi katte saamiseks nimetatakse reaktiivseks aurustamise meetodiks. Reaktsioon võib toimuda kas gaasilises ruumis, substraadi pinnal või mõlemas. Nende hulgas viiakse reaktsioon läbi peamiselt substraadil. Reaktsiooni kulg on tavaliselt seotud selliste teguritega nagu reaktsioonigaasi osarõhk, aurustumistemperatuur, aurustumiskiirus ja substraadi temperatuur ning saadud kate võib olla metallisulam või ühend. Praegu on seda meetodit laialdaselt kasutatud isoleerkilede valmistamisel.
www.superbheater.com
