Elektrilise küttetoru vaakumelektroplastimise alumiiniumkatte tehnoloogilised parameetrid
Jäta sõnum
Elektrilise küttetoru vaakumelektroplastimise alumiiniumkatte tehnoloogilised parameetrid
Vaakumaurustamisega alumiiniumkatte protsessiparameetrid hõlmavad peamiselt aurustuskambri rõhku, sadestuskiirust, substraadi temperatuuri, aurustumiskaugust jne. Kui arvestada kilealusel jaotumise ühtlast, tuleks tähelepanu pöörata ka aurustusallika suhtelisele asukohale. aluspinnale ja tooriku hoidiku liikumisolekule. Näiteks kui alumiiniumkihi ettevalmistamiseks kasutatakse elektronkiire aurustusallikat, saab valida tüüpilised põhiprotsessi parameetrid: katmiskambri töörõhk on 2,6*10-4Pa, aurustumiskiirus on 2–2,5 nm/s, substraadi temperatuur on 20 kraadi ja aurustumiskaugus 450 mm, elektronkiire pinge on 9kV ja vool 0,2A.
Vaakumelektroplasti elektriküttetoru legeeritud kile aurustamine
1- Substraat; 2- Söödakile; 3- Aurustumise allikas; 4- Lunn; 5- Vibreeriv ratas; 6- Filmimaterjal
Peenosakeste täieliku aurustumise tagamiseks on vaja valida aeglasem aurustumiskiirus ja ühtlasem etteandmiskiirus. Kahe aurustusallika aurustamise või mitme aurustusallika aurustamise meetod sobib mitmest elemendist koosnevate legeeritud kilede jaoks. Põhimõtteliselt saab vastavatesse aurustusallikatesse laadida mitu elementi ning aurustusallikate temperatuuri saab korraga soojendada ja eraldi reguleerida. See tähendab, et selle aurustumiskiirust juhitakse sõltumatult tagamaks, et sulamist kile koostist ei muudeta. Seetõttu on väga oluline vältida vastavate aurustumisallikate kilematerjalide omavahelist segunemist vastavate allikate vaheliste vaheseinte kaudu.
Vaakumelektroplasti elektriküttetoru kuldkile aurustamine
Nagu ülalpool mainitud, tagamaks, et sulamkile koostis sulamkile valmistamisel on kooskõlas sulami kile materjali koostisega enne aurustamist, kiire aurustamine (kiiraurustamine) ja kahekordse aurustumisallika või mitme aurustusallika aurustamine. saab kasutada. Legeeritud kilematerjal sadestatakse plaadistusmeetodil auruga. Kiire aurustamismeetod on sulami muutmine pulbriks või peeneks osakesteks ja seejärel asetamine aurustusallikasse, mis suudab säilitada kõrget temperatuuri, nii et peenosakesed söödetakse ükshaaval sööturi või renni tekitatud vibratsiooni kaudu. . aurustumisallikas.
www.superbheater.com
