Vaakumkatte katoodkaare tehnoloogia ülikõrgete sadestuskiiruste jaoks
Jäta sõnum
Vaakumkatte katoodkaare tehnoloogia ülikõrgete sadestuskiiruste jaoks
Vaakumkatmismasina katoodkaaretehnoloogia on tehnoloogia, mis kasutab kaarlahendust vaakumkeskkonnas, et aurustada ja ioniseerida tahke katoodi sihtmärk ning seejärel lennata anoodisubstraadi pinnale, et plasmat tugevdava toime kaudu kile sadestada. . Seetõttu on katoodkaare tehnoloogial väga kõrge sadestuskiirus.
See sadestatakse substraadi pinnale inertgaasi või reaktiivgaasi sisaldavas vaakumkeskkonnas. Suure energiaga ioonkiir on väga kasulik kile substraadi sidumisjõu parandamiseks ja kile sambakujulise kristallstruktuuri rikkumiseks, mis võib samuti oluliselt parandada kile korraldust. Konstruktsioonilised ja mehaanilised omadused. Praegu on erinevad õhukese kilega seadmete tootjad võtnud kasutusele erinevaid meetmeid, et vähendada "piiskade" teket kile moodustamise põhimõtete ja protsesside uurimise kaudu.
Nende hulgas võtavad BAI1200 ja RCS kasutusele ümmarguse tasapinnalise katoodallika tehnoloogia ja kiirgusküttetehnoloogia, mis võimaldavad kiiret katte tootmist. Selle protsessi käigus valmistatud TiAlN võib suurendada töötlustööriista lõikeserva stabiilsust ja teha võimalikuks kuivlõikamise.
Vaakumkatmismasin tagab reaktiivide ühtlase segamise pikka aega ja stabiilse kontsentratsiooni
Tegeliku rakendusprotsessi käigus asetatakse seade õhukonditsioneeriga ruumi, et uurida ja täiustada tuvastusseadet, arvestades, et temperatuur mõjutab filtrimaterjali adsorptsiooni ja neeldumisvõimet. Niiskus mõjutab ühelt poolt filtrimaterjalide niiskuse imendumist ja reaktiivide neeldumist, mis nõuab ranget kontrolli. See määratakse vastavalt katalüsaatori mõõtetorule ja erikiirusele. Voolukiirus on pöördvõrdeline dünaamilise kaitse ajaga ja reaktiivi kontsentratsioon on samuti pöördvõrdeline dünaamilise kaitse ajaga. Kõikumine mõjutab ka lõpp-punkti määramist.
Nõuete täitmiseks tehakse aeg-ajalt erinevaid parendusi. Peamine aspekt on see, et temperatuuri- ja niiskusandurit E plus E29 kasutatakse märja ja kuiva kolbi hügromeetri asendamiseks. Jugapumba tehnoloogia tagab reaktiivide ühtlase segunemise pikka aega ja kontsentratsioon on stabiilne madalama reaktiivi rõhu all.
www.superbheater.com
