Vaakumhõbedamine reaktiivne pihustuskate
Jäta sõnum
Vaakumhõbedamine reaktiivne pihustuskate
Esimene on kombineeritud katte sihtmärkide kasutamine. Pihustamise käigus laguneb sihtühend ioonide pommitamise mõjul. Näiteks pärast puhta argooni kasutamist pihustusgaasina moondub äsja toodetud kile stöhhiomeetriline suhe. Tuntud komponentide kadumise korvamiseks võib argoonile lisada teatud koguses reaktiivset gaasi, et tekitada ühendeid, et tagada kilekihi koostise muutumatus.
Teine on kasutada puhast metalli, sulamit või segu katte sihtmärgina segatud pihustusatmosfääris, mis koosneb inertgaasist ja reaktiivgaasist, pihustamise ja keemilise reaktsiooni kaudu ühendi kile saamiseks.
Peamine erinevus nende kahe vormi vahel on sadestumise kiirus ja reaktsioonigaasi rõhk. Reaktiivsed gaasid, mida saab kasutada reaktiivse pihustamise jaoks, on: õhk, hapnik või veeaur (oksiidkile tekitamiseks), lämmastik või NH3 (nitriidkile tekitamiseks), hapnik pluss lämmastik (oksünitriidkile tekitamiseks), H2S (tekitada sulfiidkile) ), As (arseenkile tekitamine) jne. Mõned neist gaasidest peavad pöörama tähelepanu kasutamisele ohutusküsimustele.
Praegu on silindrilise magnetroni pihustussihtmärgi läbimõõt jõudnud 2,5 meetrini ja tasapinnalise magnetroni pihustussihtmärgi pikkus 6,5 meetrini. Suure võimsusega suure pindalaga magnetroni pihustussihtmärkide ilmumine on avanud laia tee rakenduste jaoks suuremahulises tööstuslikus tootmises.
Vaakumhõbedamise takistuse aurustumisallika aurustusmeetodi puudused
Resistentse aurustusallika aurustusmeetodi puuduseks on see, et kuumutamisel saavutatav maksimaalne temperatuur on piiratud ning ka küttekeha eluiga on lühike. Viimastel aastatel on vastupidava aurustumisallika eluea parandamiseks kodu- ja välismaal vaakumkatmisseadmete tehased kasutanud aurustumisallikana pikema elueaga boornitriidi sünteesitud juhtivat keraamilist materjali. Jaapani patendiaruande kohaselt võib see kasutada materjali, mis koosneb 20–30 protsendist boornitriidist ja tulekindlast materjalist, mida saab sellega sulatada, et luua aurustumisallikas (tiigel), ning katta selle pind kihiga Sisaldab 62. protsenti kuni 82 protsenti tsirkooniumi ja ülejäänu on tsirkooniumi-räni sulamist materjal.
www.superbheater.com
